M+W Instruments MFM: D-6230 Mass-Stream Mass Flow Controller

179AX23CS3BM, MKS Instruments, Mass-Flo Meter

179AX52CS3BM, MKS Instruments, Metall 500sccm

M+W Instruments MFM: D-6270 Durchflussmesser + Kabelanschluss unused

MASS-STREAM MFM: D-6270 Massendurchflussmesser M+W Instruments

MKS Instruments 2179BX53CG1BV Mass-Flo Controller -unused/OVP-

HONSBERG Instruments VD-050GR100-563 Durchflusswächter

National Instruments cFP-DO-401 Digitalausgangsmodul Digital Output Module